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对于冷镜式露点仪的原理：它主要是利用了不同水份含量的气体在不同温度下的镜面上会结露。采用光电检测技术，检测出露层并测量结露时的温度，直接显示露点。镜面制冷的方法有：半导体制冷、液氮制冷和高压空气制冷。镜面式露点仪采用的是直接测量方法，在保证检露准确、镜面制冷率和精密测量结露温度前提下，该种露点仪可作为标准露点仪使用。目前上精度达到&辫濒耻蝉尘苍;0.1℃(露点温度)，一般精度可达到&辫濒耻蝉尘苍;0.5℃以内。